制药纯水设备的工艺流程主要包括预处理、反渗透系统、储存与供水、杀菌与过滤四个部分，以下是具体介绍：
1.预处理
原水箱：制药纯水的原水通常为饮用水或天然水，原水箱用于储存原水，为后续处理提供稳定的供水压力。其容积需综合考虑系统的产量、反洗耗水、空间限制和储存时间等因素。
原水增压泵：原水经原水箱后，通过水泵增压，为后续的过滤和反渗透等过程提供足够的压力。
多介质过滤器：利用石英砂、活性碳、无烟煤等过滤介质，在一定压力下把浓度较高的水通过一定厚度的粒状或非粒状过滤材料，有效除去原水中的悬浮物、有机物、胶体、微生物等杂质，使水澄清，可减小精密过滤器的更换频率。
阻垢装置：为了防止水中的钙、镁离子在水浓缩时在反渗透膜表面的结垢，在反渗透前加入阻垢剂，它是一种高效液体反渗透专用阻垢剂，可控制反渗透系统的无机物结垢，减少微颗粒的污堵现象。
精密过滤器：安装在反渗透设备前，由5μm的精密滤芯组成筒式过滤器，可防止悬浮物或小颗粒进入反渗透系统，堵塞或击穿反渗透膜。
2.制药纯水设备反渗透系统
一级高压泵：精密过滤器的出水经入水电磁阀后由一级高压泵增压进入一级反渗透系统。
一级反渗透膜：采用10只反渗透膜串联运行的方式，在压力作用下，水通过反渗透膜，来水一部分变成一级纯水进入中间水箱，另一部分变成浓水排除。
PH调节装置：由于反渗透可除去碳酸盐和碳酸氢盐而无法去除CO?，而CO?在水中是以碳酸氢根和气体的形式存在的，所以一级纯水呈偏酸性，故加碱可消耗纯水中的CO?，使CO?变成碳酸盐及碳酸氢盐而被二级反渗透膜去除，满足产品水对PH值和电阻率的要求。
二级高压泵：一级纯水经过PH调节后进入二级反渗透系统，由二级高压泵增压进入二级反渗透膜。
二级反渗透膜：进一步对水进行过滤，提高水的纯度，二级纯水被送入纯水箱内储存。
3.储存与供水
纯水箱：二级纯水进入纯水箱内储存，水箱上配有疏水性呼吸器、臭氧发生器等附件，可防止水质下降。
纯水泵：纯水箱中的水先由纯水泵经紫外线杀菌、终端过滤器而后送入纯水网管内供各用水点循环使用。
4.杀菌与过滤
紫外线杀菌器：二级纯水在进入供水管网前，需要经过高功率的紫外线杀菌器杀菌，以去除纯水储存过程中滋生的细菌。
终端过滤器：z后再经具有1μm滤径的终端过滤器过滤后z终进入供水管网，同时按规程要定期对纯水罐及供水管网进行臭氧消毒。
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