电感耦合等离子体发射光谱仪
性能指标：
1、检测器：高效半导体制冷的CCD固体检测器，在光谱仪波长范围内具有连续像素，能任意选择波长，且具有天然的防溢出功能设计；
2、检测单元：大于3,000,000个检测单元，读取速度≥2MHz；
3、像素分辨率：≤0.003nm；
4、检测器制冷系统：为获得Z低的检测器暗电流，采用高效三级半导体制冷，
5、工作温度：≤-45℃，到达工作温度的时间：< 3 分钟。
6、光学系统：恒温驱气型中阶梯分光系统
7、单色器：中阶梯光栅和棱镜二维色散系统，高能量，为保证仪器测试的稳定性，光栅和棱镜等内光路部件位置固定不动，在光谱仪全波长范围内一次曝光同时测定所有元素；
8、光室：带精密光室恒温38℃±0.1℃，可使用氩气或氮气进行光室吹扫，测定<200nm谱线时驱气量<3L/min；
9、波长范围：167-1000nm，全波长覆盖，
10、光学分辨率（FHW）：As189.042nm半峰宽<0.007nm， Ca393.366nm半峰宽<0.017nm，Ba614.172半峰宽<0.024nm, K766.490nm半峰宽<0.035nm，为保证光学系统的稳定性和z佳的光通量，焦距为280mm。
11、等离子体：等离子体观察方式炬管垂直放置；
12、RF发生器：固态发生器，等离子体线圈具有聚四氟乙烯保护层设计，防腐蚀，免维护；
13、频率：27.12MHZ；
14、RF功率≥1300W；
15、气路控制：配置3路高精度质量流量控制器，由ICP-OES软件直接控制，包括冷却气、辅助气、雾化气。精度0.01 L/min；
16、蠕动泵：16滚轮5通道蠕动泵。
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