目前，沉淀法、离子交换法和氧化法是处理半导体废水的有效手段。其中，氧化法是一种高效的电子半导体废水处理技术，它通过氧化水中的有害物质及杂质，进而达到净化水质的目的。氧化法有多种方式，如芬顿法、臭氧氧化法、臭氧光催化氧化法、光芬顿氧化法等。
臭氧光催化氧化法和光芬顿氧化法分别是在臭氧氧化法和芬顿法的基础上引入UV，在克服原有工艺氧化效果有限的同时，协同UV加速了羟基自由基的产生和污染物的去除。
臭氧光催化氧化法是利用UV光催化系统，激发 H2O2 及 O3 产生具有氧化性的羟基自由基，提高反应速率，加快COD的去除。
光芬顿氧化法是把光(UV)引进芬顿体系，有效克服了普通芬顿反应的缺点。光芬顿是在UV高强光量子的激发下，加速Fe3+转化为Fe2+，进而促进芬顿反应的进行和•OH产率的增加，实现有机污染物的高效去除。
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