一、产品概述
HRSR膜厚传感器提供半导体复杂膜层在线量测解决方案。
二、膜厚传感器产品特点
■ 超精密厚度测量，满足5μm-800um的厚度监测 ；
■ 可测量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ；
■ 对恶劣的工业环境适应性高 ；
■ 对热、湿或振动不敏感；
■ 采样速率大于3KHz。
三、测量原理
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