一、iEDX-150T(S)薄金镀层测厚仪主要参数:
1、多镀层分析，可分析镀层1～5层(不含基材）；
2、测试示值：0.001 μm,z薄可测厚度为0.0125μm；
3、元素分析范围从铝(Al)到铀(U)；
4、测量时间：10~30秒可选；
5、SDD探测器，能量分辨率为125eV；
6、探测器Be窗0.5mil（12.7μm）；
7、微焦X射线管50kV/1mA，钼，铑靶（高配微焦钼靶）；
8、标配6个准直器及多个滤光片，且自动切换；
9、XYZ三维全自动移动平台，荷载z*大为5公斤；
10、高清CCD摄像头（200万像素），准确监控位置；
11、多变量非线性去卷积曲线拟合；
12、高性能FP/MLSQ分析；
13、仪器尺寸：618×525×490mm；
14、样品台尺寸：230×220mm；
15、样品台移动范围：前后左右各80mm、高度90mm；
16、样品仓尺寸：395×400×102mm。
二、图谱界面:
1、软件支持无标样分析；
2、宽大分析平台和样品腔；
3、集成了镀层分析界面和合金成份分析界面；
4、采用多种光谱拟合分析处理技术；
5、镀层测厚分析精度可达到0.001μm。
三、分析报告结果:
1、直接打印分析报告；
2、报告可转换为PDF，EXCEL格式。
四、iEDX-150T(S)薄金镀层测厚仪样品分析图谱：
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