plasma清洗机
产品概述
SPV-150真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2、产品结构真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。
（A）真空腔及真空发生系统真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是j方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）
（B）等离子体发生器等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电j板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电j板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。
（C）控制系统本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动->挡板阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->RF放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。
https://www.chem17.com/st308096/product_37404998.html
http://www.zjplasma.cn/Products-37404998.html
