193nm激光器 准分子加工系统
193nm激光器 准分子加工系统产品外观图
典型的均匀光斑形貌
微加工系统
产品特点：
全部实现风冷，无需水冷；
结构紧凑，脉冲频率高，zui高重复频率到1kHz；
全新技术金属-陶瓷腔体；
光束均匀性好
集成的真空泵和卤素滤光片
激光头体积<3L
提供能量稳定模式，保证能量稳定输出；
应用：
微加工
激光融蚀
医学（眼睛手术）
光谱
计量
光纤布拉格光栅刻写
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