一、全自动芯片挑片分选机的功能:
(1)挑片应用:wafertotray
(2)自动上下料,设备按照输入的Mapping图及AOI检查判定产品,自动分拣芯片
二、全自动芯片挑片分选机的特点:
(1)全自动系统、视觉定位系统,直线电机驱动:分拣精度高,速度快
(2)AOI检查系统,挑片过程中检查芯片外观,自动识别形貌
(3)BondForceControl
(4)支持对三五族,MEMS以及具备空气桥结构芯片的挑选,支持MPW
(5)提供设备功能、治具定制及服务
三、Options:
(1)2-stepsorting:双分拣装置,分步挑片
(2)AirEjector:对应超薄产品,芯片厚度≥20μm
(3)RCID识别功能
项目
规格参数
wafer尺寸
4、6、8inchOption:12inch
芯片尺寸
0.5x0.5mm~20x20mmOption:0.3x0.3mm
芯片厚度
≥100μmOption:≥20μm
放置精度
≤±0.05mm/≤±0.5°Option:≤±0.025mm
分拣速度
≤1.8s/chipat2x2mmDie
放置区容量
4、6、8inchOption:12inch
设备尺寸
1800(W)x1000(D)x1650(H)mm
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