设备描述：
MFC-5Z是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将设备置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
技术参数
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名称
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双通道
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三通道
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四通道
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五通道
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质量流量控制器
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工作温度：5~45ºC
大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
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工作温度：5~45 ºC
大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
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工作温度:5~45 ºC
大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
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工作温度: 5~45 ºC
大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制
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输入电源
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AC 220V/50Hz单相
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功率
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23W
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PLC触摸屏
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· 各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上
· RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制
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产品来源：http://www.hfkpy.com/Products-31853482.html
商铺地址：https://www.chem17.com/st375393/product_31853482.html
