无尘烤箱特点
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，优良的温度控制精度。
无尘烤箱应用
用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
技术指标
无尘等级：Class 100、10;
温度范围：RT+10～300℃；
温度均匀度：±2℃;
温度波动度：±0.5℃（空载）
温控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：W1600×D1600×H1000（mm） （可定做）
电源：380v , 50Hz，6KW
网板：2块（高度可调节)
维护保养
1． 检查通风口是否堵塞，并清理积尘。
2． 风机运转是否正常。
3． 维修工检查电流是否正常。
4． 检查温控器是否准确，如不准确，请调整温控器的静态补偿或传感器修正值。
5． 检查发热管有无损坏，线路是否老化。
6． 检查延时器是否准确，误差是否允许。
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